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●移動方向: X軸1方向
●移動量: ±7.5mm
●ステージ面: 40mm×40mm
●使用モータ: PK523HPB相当(5線式ペンタゴン結線、0.75A/相)
●分解能: 0.001mm
●送りねじ: 精密ねじ(リード:0.5mm)
●移動ガイド: HG-VCR(V溝とクロスローラ)
●真直度: 0.002mm(水平・垂直) 20sec(ヨーイング)30sec(ピッチング)
●位置決め精度: 0.010mm
●繰り返し精度: ±0.0005mm
●ロストモーション: 0.005mm
●走り平行度: 0.02mm
●モーメント剛性: ヨー剛性 0.25sec/N・cm ピッチ剛性 0.3sec/N・cm ロール剛性 0.3sec/N・cm
●耐荷重: 49N(5kgf)
●質量: 0.32kg
●最高速度(8

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